【APEX的解释】APEX是“Advanced Process for Extreme Lithography”的缩写，指的是一种先进的极紫外光（EUV）光刻技术，用于制造更小、更高效的半导体芯片。该技术通过使用波长为13.5纳米的极紫外光，实现高精度的微细加工，是当前半导体行业发展的关键方向。
以下是APEX技术的核心信息总结：
| 项目 | 内容说明 |
| 全称 | Advanced Process for Extreme Lithography |
| 技术类型 | 极紫外光刻（EUV） |
| 波长 | 13.5纳米 |
| 应用领域 | 高端半导体制造 |
| 优势 | 精度高、工艺先进、适用于7nm以下制程 |
APEX技术推动了芯片制造向更小节点发展，对提升性能和降低功耗具有重要意义。
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